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日本Otsuka顯微分光測厚儀OPTM系列技術解析

發(fā)布時間： 2025-07-14　　點擊次數(shù)： 75次

　　日本Otsuka顯微分光測厚儀OPTM系列是一款高精度測量設備，廣泛應用于研發(fā)和質量控制領域。該設備通過顯微分光技術實現(xiàn)高精度膜厚和光學常數(shù)測試，具備快速測量、安全結構及個性化定制等功能。OPTM系列顯微分光膜厚儀能夠測量絕對反射率、多層膜厚、折射率和消光系數(shù)，納米級測量，精度高。該設備采用分光干涉法，可進行非破壞性和非接觸式厚度測量，測量速度可達1秒/點。

　　OPTM系列的技術特點包括非接觸、非破壞式測量，量測頭可自由集成在客戶系統(tǒng)內，高精度、高再現(xiàn)性量測紫外到近紅外波段內的絕對反射率，可分析多層薄膜厚度、光學常數(shù)(n：折射率、k：消光系數(shù))。單點對焦加量測在1秒內完成，顯微分光下廣范圍的光學系統(tǒng)(紫外 ~ 近紅外)，獨立測試頭對應各種inline定制化需求，最小對應spot約3μm。

　　此外，OPTM系列還具有技術，如反射對物鏡，可物理性去除透明基板的里面反射，實現(xiàn)高精度測定。3微米微區(qū)測量功能，通過軟件同時顯示樣品畫面和測定光采取部位，可很好確認到測定點。自動高精度mapping樣品臺，標配XY自動平臺，僅需輸入坐標即可自動多點檢測大面積樣品，實時獲取厚度分布圖。

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