日本Shinkuu磁控濺射裝置MSP-40T與MSP-mini選型指南對比分析

發(fā)布時(shí)間： 2025-06-04　　點(diǎn)擊次數(shù)： 16次

引言

磁控濺射技術(shù)在材料科學(xué)、半導(dǎo)體制造、表面工程等領(lǐng)域有著廣泛的應(yīng)用。日本Shinkuu公司推出的MSP-40T和MSP-mini兩款磁控濺射裝置，分別針對不同的應(yīng)用場景和用戶需求。本文將對這兩款設(shè)備進(jìn)行詳細(xì)的對比分析，幫助用戶根據(jù)自身需求選擇合適的設(shè)備。

一、設(shè)備概述

（一）MSP-40T

MSP-40T是一種多用途簡易操作型磁控濺射沉積裝置。它是一種小型桌面型和小空間設(shè)備，可以在強(qiáng)磁場下沉積各種金屬。該設(shè)備適用于需要高真空環(huán)境和多種金屬靶材的實(shí)驗(yàn)和生產(chǎn)場景。

（二）MSP-mini

MSP-mini是一款超小型噴金儀，主要用于少量樣品的導(dǎo)電膜涂層。它適用于光學(xué)顯微鏡和電子顯微鏡的預(yù)處理，特別適合實(shí)驗(yàn)室小樣本研究和高精度實(shí)驗(yàn)。

二、技術(shù)參數(shù)對比

參數(shù)/設(shè)備	MSP-40T	MSP-mini
電源	AC100V（單相100V）15A 3芯插頭帶地線	AC100V, 10A 使用帶地線的3芯插頭
設(shè)備尺寸	寬504mm，深486mm，高497mm（設(shè)備重量37.7kg）	寬180mm，深270mm，高183mm（設(shè)備重量4.2kg）
樣品室尺寸	直徑50mm（陽極分離浮法）	內(nèi)徑86mm，高度60mm（硬玻璃）
樣品臺(tái)尺寸	直徑50mm	Φ83mm
樣本量	直徑50mm	有效直徑Φ30mm，高度20mm以下
靶材	ITO、Ti、W、Cr、Al、Ni、Fe、Ge、Zr、Mo、Cu、Ta、碳等貴金屬靶材	Φ30mm磁控管電極，Au（標(biāo)準(zhǔn)），選項(xiàng)（Ag）
真空系統(tǒng)	需要渦輪泵和隔膜泵實(shí)現(xiàn)高真空	旋轉(zhuǎn)泵，排氣速度5?/min
操作方式	觸摸屏操作、配方功能和序列控制	一鍵自動(dòng)鍍膜
應(yīng)用場景	多種金屬薄膜沉積，適用于半導(dǎo)體制造、材料研究等	少量樣品的導(dǎo)電膜涂層，適用于光學(xué)顯微鏡和電子顯微鏡預(yù)處理

三、選型建議

（一）實(shí)驗(yàn)需求

大規(guī)模實(shí)驗(yàn)：如果您的實(shí)驗(yàn)需要沉積多種金屬薄膜，且對真空環(huán)境有較高要求，MSP-40T是更好的選擇。它支持多種金屬靶材，并且可以通過渦輪泵和隔膜泵實(shí)現(xiàn)高真空環(huán)境，確保薄膜沉積的質(zhì)量。
小樣本處理：對于需要對少量樣品進(jìn)行導(dǎo)電膜涂層的實(shí)驗(yàn)，MSP-mini是更經(jīng)濟(jì)且操作簡便的選擇。它特別適合實(shí)驗(yàn)室小樣本研究和高精度實(shí)驗(yàn)，能夠快速、高效地完成少量樣品的涂層工作。

（二）操作便利性

自動(dòng)化操作：MSP-40T配備了觸摸屏操作、配方功能和序列控制，能夠?qū)崿F(xiàn)全自動(dòng)濺射成膜。這對于需要精確控制濺射過程的用戶來說非常方便。
簡單易用：MSP-mini的操作非常簡單，只需按一下按鈕即可自動(dòng)涂層。對于不需要復(fù)雜操作的用戶來說，這是一個(gè)高性價(jià)比的選擇。

（三）成本考慮

設(shè)備成本：MSP-40T的設(shè)備成本相對較高，但它的多功能性和高真空性能使其在長期使用中具有較高的性價(jià)比。
運(yùn)行成本：MSP-mini的運(yùn)行成本較低，特別是其小靶材設(shè)計(jì)（Φ30mm）能夠顯著降低靶材的消耗，適合預(yù)算有限的用戶。

四、結(jié)論

日本Shinkuu的MSP-40T和MSP-mini磁控濺射裝置各有特點(diǎn)，適用于不同的應(yīng)用場景。MSP-40T適合需要高真空環(huán)境和多種金屬靶材的大規(guī)模實(shí)驗(yàn)，而MSP-mini則適合少量樣品的導(dǎo)電膜涂層，操作簡便且成本較低。用戶可以根據(jù)自身的實(shí)驗(yàn)需求、操作習(xí)慣和預(yù)算選擇合適的設(shè)備。希望本文的對比分析能夠幫助您做出明智的選型決策。

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